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凹坑研磨儀

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課題組的寵兒--科研專用臺式原子層沉積系統（臺式ALD)

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凹坑研磨儀

凹坑研磨儀預先切薄以接近電子透明度的快速可靠的機械方法，可顯著減少離子研磨時間和薄度不均現象。

更新時間：2025-09-25

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